一、总体思路与分级框架

为便于现场定位与培训，可将故障代码按功能链路分段分组，并赋予统一前缀与分级：

• E1xx 温控与气流链路（加热、探头、风道、门封、恢复）

• E2xx CO₂链路（气源、传感器、阀件、流量、恢复）

• E3xx 湿度/水路（湿度探头、水盘、冷凝、排水）

• E4xx 机械/门体（门磁、门封、观察窗、防凝加热）

• E5xx 电气/电源（欠/过压、漏电、驱动器、主板温升）

• E6xx 通讯/存储（面板与主控、总线、RTC、U盘/网口、日志）

• E7xx 校准/维护（到期提醒、滤件寿命、维护到期）

• E8xx 安全/联锁（过温硬件联锁、异常升温、烟雾/异味传感等）

建议同时设定告警等级：

• L1 提示（可继续运行，需关注）

• L2 警告（限制运行或性能下降，需尽快处理）

• L3 联锁（自动保护或停机，必须处置后方可恢复）

二、示例代码与含义（通用模板）

下列为现场常见现象的标准化条目模板，便于一对一映射到机内代码。实际代码命名可在投产前对表核定。

E1xx 温控与气流

• E101 加热回路开路/短路（L3）
  现象：升温受阻或急速上升；伴随过温保护或无法上升到设定。
  排查：检查固态继电器/继电器状态、加热丝/加热膜阻值、线束与接插件、主板驱动。
  临时处置：停机冷却，隔离样品；待工程支持后复机。

• E102 主控温度探头断路/短路（L3）
  现象：显示偏离现实、跳变或固定极值。
  排查：测探头阻值与接触，替换显示探头比对；检查I/O采样口。
  临时处置：禁用运行，替换件后复测均匀性。

• E103 过温保护触发（硬件联锁，L3）
  现象：声光报警、加热切断。
  排查：PID过冲、继电器粘连、传感器漂移、风扇失速。
  临时处置：门开降温、确认风道与门封，工程模式复位后做空载再验证。

• E104 欠温持续/无法达设定（L2）
  排查：门封泄漏、风道堵塞、加热功率不足、环境低温与强对流。
  优化：更换门封、清洁风道、检查加热组件与电源输入。

• E105 自检失败/控制回路异常（L2/L3）
  排查：PID参数异常、主板ADC/驱动故障、固件参数丢失。
  处置：恢复出厂参数或重新整定，必要时更换板卡。

• E106 风扇失速/停转（L2）
  现象：腔内温差增大、恢复慢。
  排查：风扇轴承卡滞、电机老化、异物阻挡、供电异常。
  处置：清障或更换风扇，复测均匀性。

• E108 门开超时（L1/L2）
  提示操作节奏问题或门磁异常；核对门磁开关、调节合页与锁扣，优化取放流程。

• E110 空间温度梯度超限（L2）
  说明均匀性异常；检查负载遮挡、风道、门封及传感器偏移。

E2xx CO₂链路（如配置）

• E201 CO₂传感器零点漂移（L2）
  处置：做零点校正；如仍超限，检查潮湿污染与老化，必要时更换。

• E202 跨度校准失败（L2）
  排查：标准气浓度与证书、流量过高/过低、传感器光路污染。
  处置：规范流量，清洁或更换传感器。

• E203 气源压力低/瓶压不足（L2）
  检查一级/二级压力与减压阀设定，确认瓶阀开启与无结露。

• E205 进气流量异常（L2）
  检漏接头、微滤堵塞、电磁阀卡滞；按点位分段隔离法定位。

• E208 浓度恢复超时（L1/L2）
  优化开门频次与单次时长、确认门封与风道；必要时调整补偿参数。

E3xx 湿度/水路（如配置）

• E301 湿度探头故障（L2）
  更换探头或以经校准记录仪比对；修正或停用RH闭环。

• E302 水盘缺水（L1）
  加注纯化水，清洁水盘与排水通道，避免干烧与冷凝异常。

• E304 冷凝过量（L1/L2）
  减少开门、控制室温梯度、调整水位与容器封膜，清洁排水。

E4xx 机械/门体

• E401 门磁簧开关异常（L2）
  导致误判门开；校正或更换门磁，复测开门恢复曲线。

• E403 门封老化/泄漏（L2）
  纸条阻力测试与热像检查；更换门封后复测均匀性与恢复。

• E404 观察窗防凝加热异常（L1）
  检查导线与功率；避免冷凝滴落污染样品。

E5xx 电气/电源

• E501 交流欠压/电压波动（L2）
  建议使用稳压与UPS；记录电压曲线，排除共用回路干扰。

• E506 加热驱动粘连（L3）
  现象为持续加热；立即断电并更换驱动器件，复测过温联锁。

• E509 UPS切换异常/电池劣化（L1）
  更换电池，做断电恢复演练，校核日志完整性。

E6xx 通讯/存储

• E601 面板与主控通信丢失（L2）
  排查排线/接插件、供电稳定性、主控复位；必要时更换面板。

• E602 传感器总线故障（L2）
  逐一拔插与替代法定位故障节点，检查I²C/RS485终端匹配。

• E603 EEPROM写入失败/参数丢失（L2）
  备份恢复或重建参数，验证报警阈值与校准系数。

• E605 U盘导出失败（L1）
  更换格式化介质、清洁端口、检查权限与时间戳。

E7xx 校准/维护

• E701 温度校准到期（L1）
  触发计划校准与OQ/PQ抽检；到期未校准限制关键工艺放行。

• E703 进气微滤寿命到期（L1）
  更换并做CO₂恢复曲线复测与检漏。

E8xx 安全/联锁

• E801 硬件过温联锁（L3）
  硬切断；排除原因后工程复位，空载稳定与均匀性再验证。

• E803 异常升温速率过快（L3）
  怀疑驱动粘连或控制失稳；禁用运行，板卡与功率件检测。

三、标准化排错路径（五步法）

1. 记录现场与上下文
   抄录代码、时间戳、设定值与实际值、开门历史、环境温度、电压曲线、负载变化。

2. 快速隔离风险
   对L3先停机并隔离样品；对气体与电气风险先切断气源与电源。

3. 功能链路自检
   按“传感器→执行器→通道→反馈→算法”链路分段验证，替换法与交叉比对法并用。

4. 定位与修复
   零备件时优先处理门封、风道、连接件、微滤等易耗；更换后做功能与安全复测。

5. 放行与复盘
   完成As Found/As Left记录、趋势对比、临时控制措施与CAPA，更新贴签与下次检查日期。

四、常见场景的快速处置卡

• 过温保护触发：断电→开门降温→查继电器/风扇→恢复后空载稳定60分钟→复测均匀性。

• CO₂上不去：查瓶压与二级压力→检漏→更换微滤→零点/跨度校正→腔内比对→复测恢复时间。

• 恢复慢/均匀性差：查门封与风道→重排负载→风扇转速与方向→PID整定→复测九点法。

• 冷凝滴水：调室温与水位→减少开门→容器封膜→清洁排水与门加热。

• 通讯丢失：重插排线→独立供电测试→固件与参数校验→替换面板/主控。

五、记录与报告（SOP字段建议）

• 设备与现场：型号、序列号、机位、固件版本、环境条件。

• 事件信息：故障代码、等级、时间戳、运行设定、样品与负载。

• 诊断与处置：根因、采取措施、替换件编号、检漏/电测截图或编号。

• 复测结果：空载稳定、均匀性、恢复时间、报警功能回归。

• 责任与放行：操作者、复核人、质量批准、下次到期与跟踪计划。

• 附件：趋势数据、热力图、照片、CAPA闭环记录。

六、预防策略与周期性维护

1. 环境与供电：室温18–26℃、相对湿度30–70%，稳压与UPS按季度自检。

2. 门封与风道：每周清洁、每季度纸条测试与格栅清理，半年检查风扇轴承。

3. 气路与微滤：按季度检漏，微滤按寿命或压差更换；气瓶固定、二级压力校准。

4. 水盘与排水：用纯化水，每周更换与清洗；定期通针排水通道。

5. 校准与比对：温度/CO₂至少年度校准，月度显示比对；到期自动提醒。

6. 软件与参数：版本管理、参数备份；变更后执行OQ/PQ子集再验证。

7. 培训与演练：报警场景演练、断电与过温应急演练，纳入年度考核。

七、代码—现象—根因—措施示例表（节选）

• E101 加热开路 → 升温不上 → 加热件/驱动损坏 → 更换功率件与复测OQ

• E103 过温联锁 → 显示高温、切断 → 继电器粘连/PID过冲 → 更换驱动、重整定

• E106 风扇失速 → 局部过热/恢复慢 → 轴承磨损/异物 → 清障或更换风扇

• E201 CO₂零点漂移 → 比对偏差 → 光路污染/老化 → 零点校正或更换传感器

• E203 气压低 → 上不去/掉得快 → 瓶压不足/二级压低 → 更换气瓶、调压与检漏

• E301 湿度探头故障 → RH显示异常 → 探头潮湿/老化 → 干燥/更换并比对

• E401 门磁异常 → 误判门开 → 磁簧失效/位移 → 重定位或更换

• E501 欠压 → 控制异常 → 市电波动大 → 稳压与独立回路

• E603 EEPROM异常 → 参数丢失 → 存储磨损 → 参数重建与板卡更换

八、与均匀性和恢复时间的联动指标

建议在每次L2/L3故障关闭前，至少复核三项：

1. 设定点稳定性（中心点RMS或峰—峰值）

2. 九点均匀性极差/最大偏差

3. 开门30–60秒后恢复至设定±阈值的时间
   这三项与常见故障高度相关，可作为放行前的功能回归基线。

九、年度回顾与持续改进

• 趋势分析：汇总故障代码的出现频率、时段、位点与根因，区分“设备性”与“操作性”问题。

• 关键KPI：年内L3联锁次数、CO₂恢复超时率、均匀性超限率、CAPA关闭周期。

• 改进举措：门封批量更换、风道设计微调、操作窗口化、校准周期优化、备件库策略。

• 反馈闭环：将回顾结果固化到SOP、培训课件与点检表，做到预防性维护前移。

十、附：快速排障口令卡（张贴版）

1. 先安全后诊断：断电/断气/降温优先

2. 分段测、替换法、交叉比对

3. 门封与风道先查，负载与开门节奏同查

4. 校准到期必处理，日志数据要留痕

5. 复测过三关：稳定性、均匀性、恢复时间